2024年起 光學(xué)及X射線量測(cè)設(shè)備進(jìn)入規(guī)模量產(chǎn)
2024年3月 啟用5300平米量產(chǎn)空間,在深圳合計(jì)建成7300平米研發(fā)及生產(chǎn)基地
2023年1月 光學(xué)及X射線量測(cè)設(shè)備實(shí)現(xiàn)商用
2022年2月 X射線薄膜量測(cè)設(shè)備AX-T100原型機(jī)完成
2021年12月 光學(xué)膜厚設(shè)備HY-100原型機(jī)完成
2021年12月 建成超過(guò)1000平米具有十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)標(biāo)準(zhǔn)的潔凈間
2021年7月 完成TXRF和GIXRF技術(shù)驗(yàn)證
2021年5月 完成光學(xué)反射式薄膜技術(shù)驗(yàn)證
2021年3月 完成光學(xué)橢偏薄膜技術(shù)驗(yàn)證
2020年10月 深圳市埃芯半導(dǎo)體科技有限公司成立